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一、什么是靶材綁定？靶材綁定的適用范圍、流程？

    1.濺射溫度高，無氧銅易被氧化和發(fā)生翹曲，靶材在高溫濺射時會開裂，造成背靶脫落；
    2.電流太大，導熱太快造成溫度過高，焊料熔化，造成焊料不均勻，脫落；
    3.循環(huán)冷卻水出水口的溫度應(yīng)低于35度，循環(huán)水溫度高，造成散熱不好而脫落；
    4.綁定的氣含量；
    5.靶材本身的致密度，靶材的致密度很高時，不易吸附，無空隙，背靶易脫落。

二、防止背靶脫落的注意事項

    1.濺射溫度不宜太高；
    2.電流要緩慢加大；
    3.循環(huán)水應(yīng)低于35°；
    4.適宜的靶材致密度。