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　　鈦酸鍶（SrTiO3）單晶基片是當前應用最廣的優(yōu)秀高溫超導單晶基片之一。它與YBaCuO等高溫超導材料的晶格匹配好，無孿晶結(jié)構(gòu)，物理、機械性能優(yōu)良。使用多種制膜技術(shù)（如磁濺射，脈沖激光沉積，激光分子束外延等）制作的多種高溫超導薄膜（Y-系，Bi－系，La-系等）均可得到 TCO≥90°K, JCO≥106A/cm2等指標。SrTiO3也是高溫超導結(jié)技術(shù)（使用雙晶基片或臺階狀基片）及基片臺階化（按特定角度斜切并熱處理）的首選單晶材料。

鈦酸鍶（SrTiO3）單晶基片主要性能參數(shù)

生長方法	火焰法
晶格常數(shù)	a=3.905Å
熔點（℃）	2080
密度	5.175（g/cm3）
硬度	6（mohs）
熱膨脹系數(shù)（/℃）	9.4×10-6
介電常數(shù)	300
化學穩(wěn)定性	在水中不溶解
正切損耗	~5×10-4（300k） ~3×10-4（77k）
顏色及外觀	透明（根據(jù)退火狀態(tài)有時有輕微的棕色）無鸞晶
尺寸	10×3m、10×5m、10×10mm、15×15mm、20×15mm 可按照客戶需求，定制特殊方向和尺寸的基片
厚度	0.5mm、1.0mm
拋光	單面或雙面
晶面定向精度	±0.5°
邊緣定向精度	2°（特殊要求可達到1°以內(nèi)）
取向	<100>、<110>、<111>等
包裝	100級潔凈袋，1000級超凈室